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高精度电容压力传感器的有限元仿真
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摘要
本文给出了采用有限元仿真来解决高精度电容传感器结构设计的具体作法,提出了减少电容传感器滞后误差的措施。文章最后还给出了研制样品的实测数据。
作者
王平
机构地区
东南大学电气工程系
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1993年第1期7-9,共3页
Instrument Technique and Sensor
关键词
电容式
传感器
有限元仿真
误差
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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仪表技术与传感器
1993年 第1期
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