硅杯同轴度的检测

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摘要文中介绍了扩散硅力敏传感器的核心元件硅杯的同轴度检测的几种方法。

作者梁福平

机构地区沈阳仪器仪表工艺研究所

出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1993年第6期7-10,共4页 Instrument Technique and Sensor

关键词力传感器同轴度检测图象传感器

参考文献1

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仪表技术与传感器

1993年第6期

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