多功能压阻式压力传感器的改进

本文提出了一种改进包括一个测量范围为10kPa的差压传感器、一个测量范围为6MPa的静压传感器和一个用于智能差压变送器的温度传感器的压阻式多功能传感器性能的方法。可以使静压传感器的输出大于25mV/V/6MPa,并且将差压对静压传感器的影响减小到小于0.35mV/V/10kPa(等效于1.4％F·S)。