摘要
在对整体式柔性运动机构分析的基础上,提出了一种能够消除多维微运动机构间耦合误差的整体式微米级运动机构,并借助Ansys的分析工具对研究结果进行了静力学分析及其优化。在此基础上开发出一个整体式二维解耦工作台。
In the base of the analysis about current monolithic micro motion stages,a new mechanism,which can eliminate the cross-coupling error,is proposed in this paper. Its working theories and specific structure are analysed with the finite element method(FEM)software.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2005年第2期83-86,共4页
Micronanoelectronic Technology
基金
上海市纳米技术中心资助项目(0214nm094)
关键词
整体式柔性运动机构
耦合误差
微位移工作台
monolithic flexible mechanism
croos-coupling error
micro motion stage
