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摘要超硬薄膜的制备——稻川幸之助，《金属表面技术》，1088．N0．2，P2-11(日文)

作者章子元

出处《表面工程》 CSCD 1989年第4期53-56,共4页

关键词超硬薄摸制备方法 CVD法材料处理工艺等离子体参量表面处理

分类号 TG17 [金属学及工艺—金属表面处理]

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表面工程

1989年第4期

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