彩色显示会聚误差的测量

本文阐述了彩色荧光显示象素的会聚原理和失会聚原因,详细讨论了各种电子束荧光彩色显示象素失会聚误差值的测量、读取及计算方法。展望了失会聚测量技术的发展动向。