摘要
通过建模的方法对所研制的一种毫微米级微进给机构的原理进行了分析,结合实验结果提出了有关结构参数的设计要点。并从动静态的角度分析了其定位精度的影响因素,提出了减少误差、提高系统稳定性的措施。
In this paper,principles of the nanometer scale microfeed device are studied by modelling method.Some critical design points and design parameters are discribed with experimental results.Static and dynamic positioning errors afe analyzed.Some effective ways improving sys-temetic stability and reducing the positioning errors are proposed.
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第1期19-21,共3页
China Mechanical Engineering
基金
国家自然科学基金
关键词
微动装置
结构
设计
仪器
精度
microfeed device structure design instrument precision
