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气相沉积技术
被引量:
6
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摘要
随者微电子、宇航、超导、激光、核能、传感技术及太阳能利用等现代科学技术的发展和工业自动化的需要,材料的表面改性技术发展很快。气相沉积则是其中发展最快的技术之一。它适合于制备超硬、耐蚀、抗氧化、超导、光敏、热敏、磁记录、信息存储,光电转换、太阳能吸收等备种功能。性涂层,也可用于备种装饰涂层。
作者
王福贞
机构地区
北京联合大学机械工程学院
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
1991年第1期48-59,共12页
China Surface Engineering
关键词
热敏
表面改性技术
涂层
制备
气相沉积技术
耐蚀
磁记录
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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