氮化锆薄膜性能的研究

本文叙述反应溅射制备的氮化锆薄膜的光学、机械、腐蚀及老化性能。它具有反射率为84％、耐紫外光性能良好是一种比较理想的太阳能装置的反光材料,亦可作硬质镀层及仿金镀膜层。