论文摘要

用氮化钛反应磁控溅射方法处理SIS-2140硬化工具钢表面;。研究了基体沉积温度对界面化学成分、氮化钛膜和基体的硬度及其附着力的影响。化学成分的分析采用了俄歇电子能谱、辉光放电光谱(GDOS)和电子探针显微分析方法;