二氯二氢硅的研制
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2孙福楠,冯庆祥,陈国忠.二氯二氢硅的纯化[J].低温与特气,1996,14(1):53-56. 被引量：3
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3侯二林,宋安宁,秦渊博.工艺因素对二氯二氢硅反歧化反应的影响[J].硅谷,2012,5(17):171-171. 被引量：2
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4孙福楠.二氯二氢硅终端纯化器的研制[J].半导体技术,1996,12(6):44-46.
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5张故万,宋爱民,雷仁方,高燕,罗春林,伍明娟.采用不同反应气源制备的Si_3N_4薄膜的特性比较[J].半导体光电,2009,30(3):408-410. 被引量：1
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6吕锌,岳媛.统计分析在多晶硅生产中的应用[J].经济视野,2014,0(21):430-430.
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7梁骏吾.电子级多晶硅的生产工艺[J].中国工程科学,2000,2(12):34-39. 被引量：164
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