电子束曝光机的电子束特徵测试
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1郑国强.电子束直接曝光机简介[J].微细加工技术,1995(3):72-76. 被引量：1
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2武世香,邹斌,陈士芳.一种新型接触式双面对版曝光机[J].电子工业专用设备,1994,23(2):48-51. 被引量：2
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3王国荃,罗腾蛟,陈福余,徐志如.对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析[J].微细加工技术,1992(1):1-6. 被引量：1
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4尹明,孙晓军,张玉林.FIR滤波器在电子束曝光机中的应用[J].山东工业大学学报,1998,28(6):589-591. 被引量：1
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5沈国鏐.电子束曝光机的软件系统[J].现代科学仪器,1994(1):23-24. 被引量：1
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6庄炳河.DB—5型光栅扫描电子束曝光机真空系统[J].微细加工技术,1991(1):46-50. 被引量：1
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7康念坎,江钧基,吴伟,黄兰友,吴明均.变形电子束曝光机成形偏转器的设计和性能[J].电子科学学刊,1990,12(2):161-168. 被引量：1
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8张明.提高电子束曝光机分辨率的探讨[J].微细加工技术,1998(3):15-19.
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9欧家忠.满足HDI分辨率和对位度要求的曝光机[J].印制电路信息,2000(12):16-17.
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10王国荃,罗腾蛟.对一台先进电子束曝光机制作掩膜过程的分析[J].科技通讯（上海）,1992,6(4):48-53.
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