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KKH溶液对lnGaAsP—lnP材料的选择腐蚀特性

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作者 吕章程 徐少华
出处 《上海半导体》 1989年第4期15-17,共3页
关键词 KKH 溶液 lnGaAsP-lnP 材料 腐蚀
分类号 TN304.220 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献
上海半导体
1989年 第4期

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