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用AES研究离子溅射TiC薄膜
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摘要
用AES研究了离子溅射TiC薄膜的成分分布及表面碳偏析。对升温过程中出现的表面碳偏析和游离态碳钛交互作用机理进行了分析,给出了偏析热力学的实验结果表达式。
作者
朱勇
戚震中
机构地区
中国科学院固体物理研究所
出处
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
1993年第3期35-37,42,共4页
The Chinese Journal of Nonferrous Metals
关键词
碳化钛
薄膜
离子溅射
碳
偏析
AES
超硬材料
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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中国有色金属学报
1993年 第3期
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