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氮和碳对洁净区宽度的影响

INFLUENCE OF NITROGEN AND CARBON ON THE WIDTH OF DENUDED ZONE
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摘要 氮与碳的存在,降低了产生氧沉淀的初始间隙氧浓度的阈值,使洁净区宽度缩小。 The influence of nitrogen and carbon on the width of denuded zone has been investigated in this paper. The experimental results indicate that nitrogen and carbon may significantly decrease the [O_i]_0~c, resulting in shallower denuded zone.
出处 《中南矿冶学院学报》 CSCD 1993年第6期826-830,共5页
基金 国家教委高等学校科学技术基金
关键词 直拉硅 洁净区 杂质 半导体材料 CZSi denuded zone impurity
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