反应溅射碳化钛及其与氮化钛复合镀层工艺初探

目前,应用物理气相沉积方法制备氮化钛镀层已很成功地获得工业应用,取得了显著的技术经济效益。然而,硬度和耐磨性较氮化钛更高一筹的碳化钛镀层的开发应用在国内还不普及和成熟,这可能是碳化钛镀层的工艺控制范围比氮化钛狭等缘故。为此,我们在氮化钛镀层工艺成果的基础上,对碳化钛以及碳化钛与氮化钛复合镀层工艺和工业上的应用进行了初步试验。一、试验方法 1.试验设备: 采用本所自行设计、制造的3FJ-40A三极反应溅射设备,设备工作原理由图1所示。