摘要
一、前言传感器的稳定性是目前生产厂及其用户共同关心的问题,很多生产厂均在研究分析高稳定度、高精度传感器,有专家提出:'研究在工艺实施过程中如何尺量减少弹性元件的残余应力是第一位。'应严格保证应变区尺寸精度和表面粗糙度来防止产生较大的表面残余应力。如何减少传感器的体积残余应力是生产稳定性传感器较重要的问题。不同的加工工艺所产生的体积残余应力均有差异。在研究分析高精度传感器时,通常优化工艺参数和工艺路线。需比较分析弹性元件的残余应力。
出处
《自动化仪表》
CAS
北大核心
1993年第11期16-18,共3页
Process Automation Instrumentation