直线运动装置的微小距离定位机构

文章介绍了直线运动装置的微小距离定位机构的结构和动作原理。由于这种定位机构采用了一种能随附加电压的大小而呈微小尺寸变化的压电元件,因而能进行微进给,从而实现高精度的定位。图2幅。