大功率管Al膜质量的工艺诊断

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摘要采用光学及电子显微镜等形貌观察手段,结合纵向剖析、能谱分析及工艺模拟手段,对大功率管Al膜缺陷产生的原因做了研究,结果认为Al表面黑点的产生一是由于Si-Al互溶时Si表面沿位错产生的溶坑;二是光刻针孔造成对Al的腐蚀.上述结论对有关工艺的改进提供了参考依据.

作者郑庆平邵丙铣

机构地区国家微电子材料与元器件微分析中心

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第2期4-8,共5页 Semiconductor Technology

关键词功率晶体管质量控制工艺诊断

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半导体技术

1993年第2期

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