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晶闸管挖槽法制造工艺

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摘要 介绍一种挖槽法制造晶闸管新工艺,它具有简化制作工序、提高器件芯片成品率的特点,适合批量生产.
作者 陈福元 吴忠龙
机构地区 浙江大学 浙江电焊机厂元件分厂
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第2期9-11,共3页 Semiconductor Technology
关键词 晶闸管 挖槽 制造 工艺
分类号 TN340.5 [电子电信—物理电子学]
半导体技术
1993年 第2期

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