长度的干涉测量

1.引言激光测长技术,是科研和工业等方面不可缺少的技术。为达到1×10^(-7)的高精度测量,用激光干涉仪是合适的。已研制出各种干涉测长仪。本文介绍上述测长技术以及值得注意的问题。