平板显示的激光修补

激光已广泛用于 LCD、EL、PDP 等平板显示的短路缺陷的减法修补中。加法修补是一项包括金属沉积修补开路缺陷的新技术。平板显示的激光修补是受了半导体工业中掩模修补的启发,用于掩模板上 Cr 减法修补的氙(Xe)离子气激光可应用于 AM-LCD 的修补。在 LCD 缺隐修补中,典型的是金属 Al 的切割。其它易被 Xe 激光切割机去除的有多晶硅和镍铬合金,作为透明导电膜的 ITO