摘要
首次用电荷模拟法计算了真空微电子二极管及真空微电子微位移传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布,进而计算了真空微电子二极管的电流一电压特性和微位移传感器的电流——位移(即阴、阳极间距)的关系曲线。模拟了两种结构的场致发射阴极:圆锥形和劈形。并用测试精度可达4nm 的水槽法模拟实验对计算结果进行了验证,理论计算与实验结果符合地很好。
The charge simulation method is employed to compute the field distribution in a novel compact displacement transducer.Both cone-shape and wedge-shape field emitter cathodes are studied.Ⅰ-Ⅴ curve and Ⅰ-Displacement curve are calculated.For comparison, a water trough method is used to find field distribution,arid the result is well in agreement with the calculations.
出处
《光电子技术》
CAS
1993年第2期40-45,共6页
Optoelectronic Technology
基金
国家基金委资助项目
国家教委资助项目
关键词
电荷模拟法
微电子器件
位置传感器
microvacuum displacement transducer
charge simulation method
calculations of field distribution
microvacuum divice
