摘要
考虑硅单硅生长的一个非定常模型,即如下自由边界问题:其中β_R,β_L,β_M,θ,δ,S_O均为正常数,且δ>1。 本文证明了若S_O>β_M(δ-1)T,则其经典解存在,唯一。
We consider a nonstationary model in crystal growth--a free boundary problem:where βR,βL,βM,θ,δ,So are positive constants and δ>1.In this paper,we prove the existence and uniqueness of classical solutions to this prob-fen under condition so >βM(δ-1)T.
基金
国家自然科学基金
浙大高纯硅及硅烷实验室资助
关键词
硅
单晶
晶体生长
数学模型
解
free boundary problem
classical solution
existence
uniqueness