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扩散硅压力传感器双桥补偿法

Two-Bridge Compensation for the Diffusion Silicon Pressure Sensor
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摘要 本文提出关于扩散硅压力传感器误差补偿的一种新方法,重点介绍该方法对零点温度漂移、灵敏度温度漂移以及非线性的补偿。 A new method of the compensaing error of pressure sensor is givenout theore tically.The compeaseting to zero and sensitivitytemperature drift and non--linearity is mainly intruduced in this paper.
出处 《安徽大学学报(自然科学版)》 CAS 1994年第1期36-41,共6页 Journal of Anhui University(Natural Science Edition)
关键词 双桥补偿 非线性 硅膜 压力传感器 two-bredge compensation temperature-drift non-linearity
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