摘要
本文提出关于扩散硅压力传感器误差补偿的一种新方法,重点介绍该方法对零点温度漂移、灵敏度温度漂移以及非线性的补偿。
A new method of the compensaing error of pressure sensor is givenout theore tically.The compeaseting to zero and sensitivitytemperature drift and non--linearity is mainly intruduced in this paper.
出处
《安徽大学学报(自然科学版)》
CAS
1994年第1期36-41,共6页
Journal of Anhui University(Natural Science Edition)
关键词
双桥补偿
非线性
硅膜
压力传感器
two-bredge compensation
temperature-drift
non-linearity