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塑封小功率晶体管芯片背面金属化与无焊料焊接 被引量:1

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摘要 分析了无焊料焊接工艺对芯片背面金属化的要求,以及几种典型的无焊料焊接芯片背面金属化结构及其基本工艺方法。
作者 张宝华
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第5期55-58,共4页 Semiconductor Technology
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