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特种高压硅堆的结构设计 被引量:1

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摘要 本文从特种高压硅堆的内部结构、外形整体结构的设计以及在检测应用中应注意的问题进行了阐述,并就应用领域方面提出了线索。
作者 项兴荣
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第5期52-54,共3页 Semiconductor Technology
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