全硅集成光学──理论与工艺Ⅲ(续二)第三讲平面波导理论简介及硅平面波导被引量：1

A Consideration to Reliability Design for Semiconductor Lasers

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摘要全硅集成光学──理论与工艺Ⅲ（续二）第三讲平面波导理论简介及硅平面波导赵策洲（博士生）（西安电子科技大学微电子所，西安７１００７１）１引言介质波导是集成光学系统及其元件的最基本单元，它主要起限制、传输、耦台光波的作用。用于集成光学中的介质波导大体可分...

作者赵策洲

机构地区西安电子科技大学微电子所

出处《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期290-202,共1页 Semiconductor Optoelectronics

关键词全硅集成光学集成光学平面波导硅平面波导 Semiconductor Laser,Reliability Design, Failure mode

参考文献23

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半导体光电

1994年第3期

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