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新型功率器件MCT的研究 被引量:1

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摘要 探讨了新型功率器件MCT(MOS控制晶闸管)的参数设计和工艺设计及实施方法。通过计算机工艺模拟,采用SDB(硅片直接键合)、硅栅自对准工艺和多层介质隔离等技术,在实验室里制成了MCT样品。测试结果表明,在-12伏的栅偏压下能在5μs内关断42A/cm ̄2的阳极电流。
机构地区 东南大学
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期5-8,共4页 Semiconductor Technology
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引证文献1

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