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n型GaAs上的欧姆接触 被引量:5

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摘要 本文介绍了欧姆接触的原理及测试方法,着重概述了近几年来在n型GaAs上制备欧姆接触所做的研究工作,介绍了改善欧姆接触特性的途径和方法。
作者 党冀萍
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期26-34,共9页 Semiconductor Technology
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