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声学显微镜及在电子器件工业中的应用
被引量：
3
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摘要
阐述了声学显微镜（ＳＡＭ）的结构、工作原理，以及声学显微镜在电子元器件检测中广泛的实际应用研究；指出ＳＡＭ是一种具有观察、检测、分析的多功能仪器，将成为超声检测仪器升级换代产品。
作者
陈戈林
任文革
郭艳林
机构地区
清华大学电子工程系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第1期50-57,共8页
Semiconductor Technology
关键词
声学显微镜
显微镜
电子器件
应用
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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1994年 第1期
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