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掺氯扩散工艺在硅整流二极管上的应用

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摘要掺氯扩散工艺在硅整流二极管上的应用为了提高硅整流二极管的性能及可靠性，我们在硅整流二极管的制造过程中，试采用了掺氯扩散工艺，达到了相当满意的效果。１试验我们在试验过程中，采用了浓盐酸与浓硫酸作用所产生的氯化氢（ＨＣｌ）气体作氯源，用氮气作携带气体，在...

作者刘庆

机构地区江苏如皋无线电厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期58-58,共1页 Semiconductor Technology

关键词硅整流二级管掺氯扩散硅二极管

分类号 TN313.3 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1994年第1期

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