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美国二手半导体设备的翻新技术与市场

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摘要 在实际引进工作的基础上,广泛收集了有关信息资料,就美国二手半导体设备的产生、需求、翻新技术方法以及市场情况进行了客观描述。由此对购置二手设备中常见的问题以及国内有关技术的潜在发展情况提出一些建议。
作者 张沈军
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期62-64,共3页 Semiconductor Technology
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