真空微电子器件发射体材料研究概况

改善真空微电子器件发射体材料的性能，有助于大大提高真空微电子器件的性能。本文概述了近年来真空微电子器件发射体材料研究状况，认为目前对金属薄膜材料、合金材料、金刚石薄膜、碳化物、硅化物等的场发射特性的研究工作，将产生一些性能优异的发射体材料。