气相扩镓的杂质Rs效应分析

在确定的开管扩镓装置中，以氢气做为镓源Ｇａ＿２Ｏ＿３的反应和输运气体，凭借准确的控制扩散条件，镓在ＳｉＯ＿２／Ｓｉ系统中扩散，可获得良好的扩散均匀性和重复性。根据镓在Ｓｉ和ＳｉＯ＿２中扩散行为，分析讨论了镓在裸Ｓｉ系和ＳｉＯ＿２／Ｓｉ系扩散所产生的杂质Ｒ＿ｓ效应，及其氧化膜质量和厚度对Ｒ＿ｓ的影响。