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硅中Ge对硅片机械强度的影响
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摘要
硅中掺入等价元素Ｇｅ，可以提高硅单晶的机械强度。本文报道了用三点弯曲法、冲击法对不同Ｇｅ含量硅片机械强度的研究结果及影响ＣＺＳｉ机械强度的掺Ｇｅ最小量，探讨了Ｇｅ增加硅片机械强度的机理。
作者
冀志江
张维连
刘彩池
机构地区
河北工学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第5期33-34,共2页
Semiconductor Technology
基金
国家自然科学基金
天津市21世纪青年科学基金
关键词
硅
掺杂
锗
硅片
机械强度
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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半导体技术
1994年 第5期
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