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超微型硅压阻传感器的设计构想
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摘要
从单晶硅压阻式压力传感器的机芯设计、结构设计、半导体平面工艺及温度补偿等几个方面,较为全面地论述了超微型硅压阻压力传感器的设计构想。主要指出设计思路、设计原则及较为特殊的设计方法。
作者
曹洪清
机构地区
徐州发电厂
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第6期37-41,共5页
Semiconductor Technology
关键词
硅压阻传感器
温度补偿
压力传感器
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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半导体技术
1994年 第6期
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