用于低阈值大功率应变InGaAs－AlGaAs　GRIN　SCH　SQW激光二极管的简单可靠的加工技术

Simple Reliable Processing Technique for Low-Threshold High-Power strained InGaAs-AlGaAs GRINSCH SQW Laser Diodes

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摘要提出了一种简单而非常可靠的脊波导ＩｎＧａＡｓ／ＧａＡｓ　ＳＱＷ激光器的加工技术。与其他传统的加工技术相比较．该方法简单可行。用这种方法研制出的器件特性完全可以和常规方法研究的器件相媲美，有些甚至更好。加工技术的简单化保证了高的成品率。这些激光器的高性能可以通过应用光学镀膜进一步优化。 Abstract

作者秦志强

出处《半导体情报》 1994年第5期46-49,35,共5页 Semiconductor Information

关键词脊波导 SQW 激光器激光二极管应变层 InGaAs

分类号 TN365 [电子电信—物理电子学]

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半导体情报

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