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压力传感器的计算机辅助设计 被引量:2

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摘要 在微压传感器的研制中进行了计算机辅助设计.利用有限元方法建立硅膜的刚度矩阵,从而求解位移方程.得到了方形弹性膜上的应力分布,为力敏电阻设计了最佳位置,并预计了输出信号的大小和灵敏度,实现了优化设计。
机构地区 河北工学院
出处 《半导体杂志》 1994年第1期25-33,24,共10页
  • 相关文献

同被引文献10

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引证文献2

二级引证文献9

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