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一种新型半导体材料──纳米晶硅 被引量:2

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摘要 一种新型半导体材料──纳米晶硅李建军,魏希文,万明芳(大连理工大学半导体研究室116023)一、引言继非晶硅、多晶硅、微晶硅之后,纳米晶硅是近几年发展起来的又一种新型半导体材料。纳米固体材料是一种既不同于晶态也不同于非晶态的第三类固体材料,由1~15...
出处 《半导体杂志》 1994年第1期34-41,共8页
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献3

  • 1何宇亮,颜永红.晶化对A-Si:H膜中氢含量及键合形式的作用[J]物理学报,1984(10).
  • 2何宇亮,刘湘娜.非晶硅薄膜晶化与结构特性的研究[J]电子学报,1982(04).
  • 3何宇亮,周衡南,刘湘娜,程光煦,余是东.非晶硅薄膜晶化过程中微结构的分析[J].物理学报,1990,39(11):1796-1802. 被引量:6

共引文献36

同被引文献30

引证文献2

二级引证文献2

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