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半导体超晶格物理与器件(12)

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摘要 半导体超晶格物理与器件(12)彭英才(河北大学电子与信息工程系071002)二、超晶格异质结界面性质的光谱技术研究如前所述,超晶格材料是一种由多层超薄膜和多个异质结界面组成的叠层结构。其界面状况,如界面原子状态、化学组成、界面突变性以及界面形成过程等...
作者 彭英才
出处 《半导体杂志》 1994年第2期48-54,共7页
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