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离子镀TiN膜前处理工艺
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摘要
叙述了离子镀ＴｉＮ膜前处理的几种方法，指出了其应用工艺，并着重对几种材料的具体实施规范进行了论述。
作者
廖钟亮
机构地区
江西省科学院
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第12期28-30,共3页
Materials Protection
关键词
金属
氮化钛
离子镀膜
前处理
分类号
TG174.45 [金属学及工艺—金属表面处理]
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材料保护
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