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光电多功能自动检测仪环距测量误差理论分析 被引量:1

The Theoretical Analysing of the Pitch Measuring Error by Optoelectronic 2D Auto─measuring Instrnument
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摘要 本文主要讨论了光电多功能二维自动检测仪在环距测量中影响精度的主要误差来源,并对主要误差进行了详细的理论分析和数学计算,从中得出了一些有益的结论,对仪器设计和提高仪器的测量精度起到了一定的作用。 The paper main discusses the error sources of affection of the pitch measurement accurcy in measuring pitch by optoeleclectronic 2D auto─ measuring instrument and theoretically analyses and calculates in maths for the main error in detail. It obtains some good benfit conclusins. They put the desisn of instrument and improvement the measurement accuracy of instrument in effect.
出处 《长春光学精密机械学院学报》 1994年第4期1-8,共8页 Journal of Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics
关键词 光电 检测 误差分析 光电自动检测仪 optoelectronics Measurement Erroranalysis
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