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石英晶体质微变式测微传感器的研制
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摘要
压电石英晶体的振荡频率会因表面吸附过程而降低,晶体表面增加的质量与振荡频率二者间呈线性关系.当晶体表面涂覆一层能够有选择性地吸附某种特定气体的适当物质时。
作者
毛幼馨
郭建平
机构地区
天津大学电子工程系
天津大学医疗器械研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1994年第3期56-59,共4页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
天津市首届21世纪青年基金项目
关键词
测微传感器
石英晶体
空气污染
分类号
X85 [环境科学与工程—环境工程]
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传感技术学报
1994年 第3期
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