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石英晶体质微变式测微传感器的研制 被引量:2

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摘要 压电石英晶体的振荡频率会因表面吸附过程而降低,晶体表面增加的质量与振荡频率二者间呈线性关系.当晶体表面涂覆一层能够有选择性地吸附某种特定气体的适当物质时。
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 1994年第3期56-59,共4页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金 天津市首届21世纪青年基金项目
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