多晶硅敏感技术(连载五)

Sensing Technology Based on Polycrystalline Silicon (Serial Five)

6 多晶硅压力传感器 近些年来,随着多晶硅薄膜地深入研究,以在绝缘层上生长多晶硅薄膜(SOI)制作应变电阻器为敏感元件的压力传感器,其优越性已被广大研究者和生产部门所认可。 ①具有较大的压阻效应,最大值可达单晶硅的70％;并呈良好的线性。