摘要
为研究磁头软磁薄膜经加工蚀成条状后磁导率的变化情况以及磁导率随频率的变化规律，本文研究了条状薄膜磁导率的测量方法，并对多种片状薄膜和条状薄膜进行了测试．在此基础上研究了改善磁导率的高频特性的方法．结果表明，薄膜样品刻蚀成主磁极型的条状后，磁导率小于未刻蚀的片状薄膜；随着频率升高至１ＭＨｚ以后，片状和条状磁导率均呈下降趋势，但条状膜磁导率下降更多；多层膜具有较好的高频特性．
出处
《磁性材料及器件》
CSCD
1994年第2期59-62,共4页
Journal of Magnetic Materials and Devices
基金
国家教委留学人员基金
