在He—H2辉光放电等离子体中用光学发射谱估计碳的化学溅射速率
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2甘德昌.微波氧等离子体的光学发射谱和SiO2薄膜的制备[J].等离子体应用技术快报,1997(8):12-13.
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3葛大勇,赵庆勋,杨保柱,何雷.光学发射谱在硫掺杂金刚石薄膜制备中的应用[J].实验技术与管理,2011,28(11):41-43. 被引量：1
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4罗利霞,吴卫东,孙卫国,唐永建,朱永红.低压甲烷等离子体发射光谱诊断[J].真空科学与技术学报,2007,27(3):203-207. 被引量：15
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5于威,王保柱,杨彦斌,路万兵,傅广生.螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究[J].物理学报,2005,54(5):2394-2398. 被引量：13
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7李雪辰,袁宁,贾鹏英,牛东莹.发射光谱研究大气压等离子体射流的气体温度[J].光谱学与光谱分析,2010,30(11):2894-2896. 被引量：2
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8黄士勇,王德苗,任高潮,陈抗生.光谱法控制ITO膜沉积速率[J].材料研究学报,1997,11(3):328-330. 被引量：1
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9贾鹏英,李雪辰,袁宁.大气压冷等离子体喷枪气体温度的比较研究[J].光谱学与光谱分析,2011,31(8):2032-2035. 被引量：3
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10王德苗,黄士勇,任高潮,陈抗生.光谱法控制溅射速率的研究[J].真空科学与技术,1997,17(5):366-368. 被引量：1
