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改进的沉积PSG的PECVD实验

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作者 放水泉
出处 《等离子体应用技术快报》 1994年第10期15-16,共2页
关键词 等离子体 化学气相沉积 磷化铟 磷硅酸盐玻璃
分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献
等离子体应用技术快报
1994年 第10期

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