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DL—6型智能露点仪的研制

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摘要用微机控制镜面的降温速率，从而大大提高了光电露点仪测定露点的灵敏度和测试的自动化程度．

作者孙明方

机构地区中国科学院半导体研究所

出处《低温与特气》 CAS 1994年第1期13-18,共6页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词露点检测光电露点仪微处理机

分类号 TH831 [机械工程—精密仪器及机械]

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低温与特气

1994年第1期

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