锗烷的分解爆炸──爆炸火焰的传播及爆炸极限压力被引量：1

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摘要锗烷的分解爆炸──爆炸火焰的传播及爆炸极限压力堀口贞兹，近藤重雄，浦野洋吉１序言在半导体工业中，使用的气体种类很多，其中有的气体毒性和爆炸危险性很高，处理时必须注意。锗烷（ＧｅＨ４）是其中的一种。在硅系半导体制造中，它被用于ＣＶＤ过程、外延过程、扩散...

作者韩美

出处《低温与特气》 CAS 1994年第2期63-70,共8页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词锗烷分解爆炸金属有机化学

同被引文献9

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低温与特气

1994年第2期

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